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江苏先导微电子获得ALD载具以及ALD设备专利提高设备功能

发布时间:2025-04-25 21:31:28 来源:加热搅拌罐

  金融界2025年3月20日音讯,国家知识产权局信息数据显现,江苏先导微电子科技有限公司获得一项名为“ALD载具以及ALD设备”的专利,授权公告号 CN 222631552 U,请求日期为2024年6月。

  专利摘要显现,供给一种ALD载具以及ALD设备。ALD载具包含铝壳体、榜首PEEK承载直条、第二PEEK承载直条、第三PEEK承载直条及第四PEEK承载直条;铝壳体具有工艺内腔,工艺内腔具有中心面;榜首PEEK承载直条设于右壁面;第二PEEK承载直条的两端别离设于前后壁面,第二PEEK承载直条在左右方向上坐落中心面和榜首PEEK承载直条之间;第三PEEK承载直条设于前后壁面、在左右方向上坐落中心面和左壁面之间;第四PEEK承载直条设于左壁面;榜首PEEK承载直条、第二PEEK承载直条、第三PEEK承载直条及第四PEEK承载直条用于四点支撑衬底。ALD设备包含ALD载具。

  天眼查资料显现,江苏先导微电子科技有限公司,成立于2021年,坐落徐州市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱58824万人民币,实缴本钱58824万人民币。经过天眼查大数据分析,江苏先导微电子科技有限公司参加招投标项目11次,产业线条,此外企业还具有行政许可13个。

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